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X射線光電子能譜儀 (XPS)

儀器名稱:X射線光電子能譜儀 (X-Ray Photoelectron Sprectroscpoe, XPS)

l購置年度:91年

l放置地點:台科大化工系 T2-105 室。

l服務項目:

1.      XPS 寬能譜掃瞄(wide scan)

2.      XPS 窄範圍能譜細部掃瞄(narrow scan)

3.      XPS 縱深分析

l樣本準備需知:

1. 以非(或低)揮發性試片為限, 送樣品時需以書面說明每個樣品的構成,如 SiO2 films on Si wafer,及欲測量之項目。若試片置入預抽腔體內後在半小時內無法抽至 10-7 Torr 以下,及置入量測腔體內壓力無法達到 6 x 10-10Torr 以下時,則退回該樣品,並酌收試片處理費用。

2. 試片尺寸以 1 x 1 cm2,厚度小於 0.5 cm 為佳。

3. 試片不可具有磁性(如具不成對d軌域電子之元素及其化合物)、毒性或幅射性。磁性材料需提出証明否則一律退件。

4. 不接受粉末打錠及有毛屑之碳布試片(因容易造成腔體污染及漏氣等嚴重問題)。

5. 進行縱深分析的試片,請自行控制欲分析之厚度,原則上以每件 Ion sputtering 時間為一小時為限,蝕刻時間一次最多五分鐘,未說明蝕刻方式,一律以蝕刻一分鐘/ 次,共蝕刻十次。

l收費標準:

1. 貴儀使用者:基本費用:6000 元(包含試片抽真空 1.5 小時及處理費用、圖形轉檔服務(一律以 Excel 檔輸出))。另加收操作費:每小時 3000 元。

2. 非貴儀使用者:

(1). 校外研究單位每小時 2500 元。另加收基本費:6000 元。

(2). 校外營利單位每小時 4000 元,安排二星期內完成。另加收基本費:6000 元。

(3). 急件者,每小時 6000 元,安排三天內完成。另加收基本費:6000 元。

l開放服務對象:校內、校外學術單位及產業界

l儀器負責老師及技術員聯絡方式:

儀器指導教授:陳良益 教授  電話:(02)2737-6615

e-mail : sampraslyc@gmail.com。

技 術 員:蘇文怡 先生 電話:(02)-2737-6632

e-mail : mailto:wenyi0911@mail.ntust.edu.tw

l儀器介紹:

英國 VG ESCA Scientific Theta Probe (2002 年機型)XPS X-ray源:Al Kα(1486.6eV)X-ray spot size15 ~ 400 mm ,起飛角(take off angle) 53 度,pass energy50eVAr ion gun3kvcurrent1mA,面積範圍:2mm × 2mm Auger 電子束:10keV

 

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