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高解析度場發射掃描式電子顯微鏡 (FESEM)

儀器名稱:高解析度場發射掃描式電子顯微鏡(High Resolution Field-Emission Scanning Electron Microscope)

l購置年度:91年

l放置地點:E1-120

l服務項目:表面微細結構觀察、成份定性與定量分析

l樣本準備需知:乾燥

l收費標準:每時段三小時6000/元

l開放服務對象:校內、校外學術單位及產業界

l儀器負責老師及技術員聯絡方式:材料科學與工程系王丞浩教授(分機3715)與廖勝權技士(分機6435)

l儀器介紹:日本JEOL JSM-6500F解像力:1.5 nm @15KV加速電壓: 0~30 KV  放大倍率: 10x~500K x二次電子成像(SEI)背散射電子成像(BSI)      附屬設備 : 能量分散光譜儀(EDS) 電子背向散射繞射儀(EBSP)

 

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